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半导体材料气体检测仪
半导体材料气体检测仪
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日本新宇宙XP-704Ⅲ代替氟利昂气体检测仪。检测对象 代替氟利昂气体 检测浓度 5ppm (R-134为30ppm) 检测原理 热线型半导体式 采样方式 自动吸引式
日本新宇宙XP-703DⅢ半导体材料气体检测仪。检测对象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3 检测浓度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm 检测原理 热线型半导体式 采样方式 自动吸引式
日本新宇宙XPS-7Ⅱ半导体材料气体检测仪。检测对象 毒气/半导体材料气体 检测范围 根据规格而定 检测原理 定电位电解式
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